薄膜铁电性能综合测试仪

FETS-2000b薄膜铁电性能综合测试仪具有动态电滞回线(DHM)、I-V特性、脉冲(PUND)、静态电滞回线(SHM)、疲劳(FM)、漏电流(LM)、电流-偏压、保持力(RM)、印迹(IM)的测试功能.，可广泛地应用于如各种铁电/压电/热释电薄膜、厚膜、体材料和电子陶瓷、铁电传感器/执行器/存储器等领域的研究。

FETS-2000b薄膜铁电性能综合测试仪与探针台配套使用，可实现薄膜的铁电性能测试。动态电滞回线测试频率和激励测试电源，用户可根据需要进行选择，动态电滞回线测试频率范围为1mHz～500kHz可选，激励测试电源±10/30/100/200/500VAC可选，也可根据用户需要进行定制。

本测试系统由主控器、探针台、计算机及系统软件部分组成。主控器集成了内置激励测试电源、电荷积分器、可编程放大器、模数转换器、通讯总线等功能，系统软件包括可视化数据采集和管理功能，测试时，无需改变测试样品的连接，即可实现滞回，脉冲，漏电，IV等性能测试。

本测试系统铁电性能测试采用改进的Sawyer- Tower测量方法，与传统的Sawyer- Tower模式相比，此电路取消了外接电容，可减小寄生元件的影响。此电路的测试精度仅取决于积分器积分电容的精度，减少了对测试的影响环节，容易定标和校准，并且能实现较高的测量准确度。

本系统提供外接高压放大器的接口，对于需要做高压测试、高压漏电流测试 的用户，可直接扩展此功能。

用户选择此款设备，需向厂家提供测试频率、激励测试电压等要求。

测试功能：

• 动态电滞回线(DHM)

• I-V特性

• 脉冲(PUND)

• 静态电滞回线(SHM)

• 疲劳(FM)

• 漏电流(LM)

• 电流-偏压

• 保持力(RM)

• 印迹(IM)

可扩展部件：

• 探针台